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氣相沉積薄膜與基體附著力的劃痕試驗(yàn)儀的特點(diǎn)

發(fā)布時(shí)間： 2024-08-06　　點(diǎn)擊次數(shù)： 645次

氣相沉積薄膜與基體附著力劃痕試驗(yàn)儀

根據(jù)壓頭上自動(dòng)連續(xù)增加的垂直載荷，測定劃透薄膜并使之從其基體上連續(xù)剝離所需要的最小載荷，即薄膜–基體界面附著失效的臨界載荷 L C 。

測定 L C 的自動(dòng)劃痕試驗(yàn)機(jī)的結(jié)構(gòu)原理如圖1所示。該儀器由下列主要部件組成： A—壓頭連續(xù)加載電機(jī)； B—聲發(fā)射探頭，探測劃痕產(chǎn)生的聲發(fā)射強(qiáng)度并輸入微機(jī)； C—洛氏硬度計(jì)標(biāo)準(zhǔn)壓頭； D—試樣臺(tái)； E—位移電機(jī)，用以勻速沿水平方向拖動(dòng)試樣臺(tái)； F—切向摩擦力傳感器，連續(xù)檢測壓頭與薄膜之間的摩擦力并輸入微機(jī)； G—試樣臺(tái)高度升降螺桿； H—加載壓力傳感器； I—光學(xué)顯微鏡(≥40×)； J—信號(hào)放大器； K—變換控制器； L—微型計(jì)算機(jī)（嵌入式工業(yè)電腦），用以實(shí)施測試自控和自動(dòng)處理數(shù)據(jù)，并動(dòng)態(tài)顯示及存貯數(shù)據(jù)與圖形； M—試樣； N—CRT 顯示器； O—繪圖打印機(jī)，輸出試驗(yàn)結(jié)果； P—壓頭加載機(jī)構(gòu)； Q—主支架。